潔凈廠房內(nèi)特種氣體和化學品泄漏探測系統(tǒng)
潔凈廠房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會帶來很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內(nèi)部、溶劑間、溶劑輸送柜內(nèi)部、SUBFAB、閥門箱和生產(chǎn)區(qū)均應按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR）（紫外線/紅外線）探測器等。
潔凈廠房由于使用了多種易燃、易爆、毒性和腐蝕性氣體以及易燃、易爆、腐蝕性溶劑．其中任何一種氣體和溶劑泄漏都會帶來很大的火災危害、設備毀壞或人員傷害，因此在各易燃、易爆和腐蝕性特種氣體間、氣瓶柜內(nèi)部、溶劑間、溶劑輸送柜內(nèi)部、SUBFAB、閥門箱和生產(chǎn)區(qū)均應按輸送介質(zhì)以及介質(zhì)危險性的不同安裝不同類型、不同靈敏度的探測器，常用的探測器有電化學探測器、真空泵抽氣式探測器、UV／IR）（紫外線/紅外線）探測器等。
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